Greet Storms, senior vice-president per la gestione prodotto High-NA EUV di ASML, è intervenuto a un forum sui processi avanzati a SEMICON Taiwan per aggiornare i numeri della flotta della macchina più costosa dell’azienda. L’esposizione cumulativa dei wafer attraverso i sistemi EXE ha superato 1,35 milioni di wafer. Un EXE:5200B certificato ha raggiunto 135 wafer all’ora. La disponibilità della flotta è dell’84%, con un obiettivo del 90% entro la fine del 2026 e del 93% successivamente.
Che cosa misura 135 WPH
Si tratta del risultato di un test di accettazione — la prova di qualificazione che una macchina supera all’installazione — non del throughput di fabbrica a regime. La distinzione non è una finezza: le condizioni di accettazione vengono scelte per dimostrare la capacità, mentre il throughput reale di produzione è determinato dal mix di layer, dai cambi maschera e dall’uptime. I numeri successivi nella roadmap sono ancora più lontani dalla realtà: 160 WPH sull’EXE:5200C, 175 sul 5200D, 180 sul 5400E entro la fine del decennio e oltre 210 WPH in una modalità più veloce. Si tratta di obiettivi, con la sorgente luminosa che passa da 600W a 1.000W.
Che cosa non è 1,35 milioni di wafer
Si tratta dell’esposizione cumulativa dell’intera flotta dall’implementazione, inclusi i run di R&D. Non è output produttivo e non corrisponde a dispositivi spediti.
L’errore sulla data che circola
La copertura sta trattando il “primo prodotto logic ad alto volume su High-NA” come una notizia di oggi. Non lo è: quel prodotto è il Core Ultra Series 3 di Intel su Intel 18A, e ASML ha annunciato il traguardo in un comunicato stampa il 15 luglio 2026. La novità di oggi sono i contatori — dimensione della flotta, totale di esposizione, disponibilità, throughput di accettazione. Datare il traguardo HVM al 1° settembre è semplicemente sbagliato.
Chi sono i clienti, e chi non lo è
La cronaca taiwanese dello stesso forum indica 10 sistemi in funzione presso quattro clienti, con altri tre in spedizione o installazione. ASML non li ha nominati. Intel è pubblico, e SK hynix ha installato un EXE:5200B nel suo fab DRAM M16; aggiungere TSMC o Samsung all’elenco è un’invenzione, e TSMC ha pubblicamente rinviato gli acquisti di High-NA. Storms ha anche suggerito che High-NA potrebbe servire fino a cinque futuri nodi DRAM 2D — una stima del relatore riportata da un media, non un impegno aziendale.