Greet Storms, vice-présidente senior d'ASML en charge de la gestion produit High-NA EUV, a utilisé un forum sur les procédés avancés à SEMICON Taiwan pour actualiser les chiffres de la flotte de la machine la plus coûteuse de l'entreprise. L'exposition cumulée des wafers sur les systèmes EXE a dépassé 1,35 million de wafers. Un EXE:5200B certifié a atteint 135 wafers par heure. La disponibilité de la flotte est de 84 %, avec un objectif de 90 % d'ici fin 2026, puis 93 % par la suite.
Ce que mesure 135 WPH
Il s'agit d'un résultat de test d'acceptation — le run de qualification qu'un outil doit valider lors de son installation — et non d'un débit de production en régime de croisière dans une fab. La distinction n'a rien de mesquin : les conditions d'acceptation sont choisies pour démontrer la capacité, tandis que le débit réel de production dépend du mix de couches, des changements de masques et du temps de fonctionnement. Les chiffres à venir dans la feuille de route sont encore plus éloignés de la réalité : 160 WPH sur l'EXE:5200C, 175 sur le 5200D, 180 sur le 5400E d'ici la fin de la décennie, et au-delà de 210 WPH dans un mode plus rapide. Il s'agit d'objectifs, avec une source lumineuse passant de 600W à 1,000W.
Ce que ne signifie pas 1,35 million de wafers
Il s'agit de l'exposition cumulée de l'ensemble de la flotte depuis son déploiement, y compris les runs de R&D. Ce n'est pas une production et cela ne correspond pas à des appareils expédiés.
L'erreur de date qui circule
Les articles présentent comme une nouveauté du jour le "premier produit logique à haut volume sur High-NA". Ce n'est pas le cas : ce produit est le Core Ultra Series 3 d'Intel sur Intel 18A, et ASML a annoncé cette étape dans un communiqué de presse le 15 juillet 2026. Ce qui est nouveau aujourd'hui, ce sont les compteurs — taille de la flotte, total d'exposition, disponibilité, débit d'acceptation. Dater l'étape HVM au 1er septembre est tout simplement faux.
Qui sont les clients, et qui ne le sont pas
Un compte rendu taïwanais du même forum fait état de 10 systèmes en service chez quatre clients, avec trois autres en cours d'expédition ou d'installation. ASML ne les a pas nommés. Intel est public, et SK hynix a installé un EXE:5200B dans sa fab DRAM M16 ; ajouter TSMC ou Samsung à cette liste relève de l'invention, et TSMC a publiquement temporisé sur des achats High-NA. Storms a également suggéré que High-NA pourrait servir jusqu'à cinq futurs nœuds DRAM 2D — une estimation de l'intervenante relayée par un média, pas un engagement de l'entreprise.