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北美首台公共持有的 High-NA EUV 设备开始运抵奥尔巴尼

这套约 4 亿美元的 ASML 系统底座模块已运抵 Albany NanoTech Complex。借助一项 100 亿美元合作，下一代光刻技术将向原本买不起设备的研究人员开放。

2小时前